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日本三丰轮廓仪CV-3200S4

来自: 轮廓仪 · 英昊达 2015-1-16

 

名称: 三丰轮廓仪 CV-3200S4 
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传真: 0512-57568769  三丰轮廓仪
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型号

CV-3200S4

CV-3200H4

CV-3200W4

测量范围

X轴

100mm

Z1轴(检测部)

60mm(水平位置±30mm)

Z2轴(立柱)移动量

300mm

500mm

监测器(Z1轴:检测器)

测量单元

圆弧光栅尺

分辨率
CV-3200系列:0.04μm
测针上/下运作
弧形移动
移动方向
向前/向后 双方向
测针方向
CV-3200系列:向上/向下(单独测量)
测力
CV-3200系列:30mN(根据配重调整)
跟踪角度
向上77°,向下83°(根据表面粗糙度1使用标准单切面测针)

驱动部

标尺

X轴

激光全息光栅尺

Z2轴(立柱)

ABS光栅尺

分辨率

X轴

0.05μm

Z2轴(立柱)

1μm

驱动速度

X轴

0~80mm/s 外加手动

Z2轴(立柱)

0~30mm/s  外加手动

测量速度

X轴

0.02~5mm/s

直线度

X轴

0.8μm/100mm

倾角范围

X轴

±45°

指示精度(20°)

X轴

±(0.8+0.01L)μm L=驱动长度(mm)

宽范围:1.8μm/100mm

窄范围:1.05μm/25mm

Z1轴(检测部

±(1.6+|2H|/100)μm  H=为水平位置上的测量高度(mm)

 

外观尺寸

(W*D*H)

主机

756x482x966mm

756x482x1166mm

1156x482x1176mm

遥控箱

221x344x490mm

遥控箱

248x102x62.2mm

重量

主机

140kg

150kg

220kg

遥控箱

14kg

遥控箱

0.9kg

使用温度范围

15~25℃(校正时和测量时的温度变化在±1℃)

使用湿度范围

20~80%RH(无凝结状态)

保存温度范围

-10~50℃

保存湿度范围

5~90%RH(无凝结状态)

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